慎入!專業文 | 晶圓 上的有機汙染分析?!
晶圓所在的半導體製程環境要求嚴格, 但空氣仍然會有一些有機揮發物散布在空氣中, 或是在清洗用的高純水中的有機物或無機物, 高純度的化學品清洗劑或是塑膠零組件的揮發氣體, 這些不管有機或無機汙染物都會汙染到晶圓。
LIBS 精選 | 快速認識雷射導引光譜儀
雷射感應破裂光譜(Laser Induced Breakdown Spectroscopy 也可以稱為LIBZ)，此儀器利用雷射激發樣品使其在表面形成電漿狀態(Plasma)當降至原子態時產生原子放射光譜(Atomic Emission Spectrum)。 理論上LIBS(LIBZ)可檢測所以元素，其能力與雷射功率CCD解析度有關。