標籤: 揮發氣體

慎入!專業文 | 晶圓 上的有機汙染分析?!

晶圓所在的半導體製程環境要求嚴格, 但空氣仍然會有一些有機揮發物散布在空氣中, 或是在清洗用的高純水中的有機物或無機物, 高純度的化學品清洗劑或是塑膠零組件的揮發氣體, 這些不管有機或無機汙染物都會汙染到晶圓。